技术支持
磁流体密封传动装置,简称磁流体密封(VF),是把旋转运动传入真空容器的一种部品解决方案,也适于其它对气体环境要求很高的场合,在实现旋转运动传输的同时,杜绝了气体和其他污染。
从半导体芯片、液晶显示、光伏、LED芯片,到军工和航空航天工业,大多工艺制程都有着苛刻的真空环境要求,要同时实现良好的密封性和传动性能,必须依靠磁性流体密封传动装置来实现。性能优秀的磁性流体密封传动装置,是确保半导体等制程能否顺利完成的前提。